
1997 AMAT, P5000, PECVD (3 camere)
- Produttore: Amat
- Modello: P5000
Numero di serie.: 4420 | Quantità: 1 | Dettaglio dell'attrezzatura: PECVD (3 camere) | Attrezzatura: PECVD | Descrizione: 3Camera (gas O2, CF4, SiH4, GeH4, N20, N2)
Suwon, Corea del Sud
1995 AMAT, P5000, PECVD (2 camere)
- Produttore: Amat
- Modello: P5000
Numero di serie.: 4267 | Quantità: 1 | Dettaglio dell'attrezzatura: PECVD | Attrezzatura: PECVD
Suwon, Corea del Sud

