Usata Centrothem, E1550, Forni orizzontali (LPCVD) in Suwon, Gyeonggi, Corea del Sud

Scheda Tecnica

Condizione
usata
Numero di serie
N/A
Numero magazzino
199220362
Numero di serie.
N/A
Quantità
1
Dettaglio dell'attrezzatura
Forni orizzontali
Attrezzatura
Forni orizzontali (LPCVD)
Descrizione
Wafer da 4, 6, 8 pollici
Dimensione del wafer
4 pollici, 6 pollici, 8 pollici, 125Sq, 156Sq
Capacità
70 wafer/lotto
Sottocategoria
Macchine
Sottocategoria 2
Semiconduttore
Listing ID
99209314

Descrizione

Wafer 4, 6, 8 pollici
- ANNATA: Sconosciuta
- CONDIZIONE: Così com'è
1. Specifiche e prestazioni
Processo: ossidazione a secco/umido, poli Si, (bassa sollecitazione), SiNx, (B)processo PSG

Uniformità: ±0,5~1% (ossidazione), ±1~2% (Poly Si, SiNx), ±3~5% (BPSG)
2. Applicazioni
Passivazione
Rivestimento ARC
□ Formazione di gate
□ Materia di rilevamento MEMS/NEMS

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Produttore
Centrotherm
Modello
E1550
Luogo
🇰🇷 Suwon, Gyeonggi, Corea del Sud

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