Usata in Saitama, Giappone

Surface sheet assembly GEDAD320-007

Sony Glass scale MOEDY00201A

• Produttore: Sony

PCB(I/F) card PBPCB-0161

Porous 8-inch chuck table MAELRA02–AZ

Porous 8-inch chuck table MAELRA02–AZ

Porous Chuck Table 6 inch D MAJMR006–B

Spinner Table 6 inch D TBLOB-00002-0

• Produttore: Spinner

NSK Θ axis driver M-ESA-JB015AF2-11

• Produttore: NSK

Asahi Engineering Pack Driver D2590

• Produttore: Asahi Engineering

Floppy drive FDT-355

6 inch Porous Chuck Table FJM-910006-1

Spinner Table 6 inch FELS-910011-1

• Produttore: Spinner

PCB(SAFETY) card DAPG9SA5001-0

Asahi Engineering Z-axis driver D3040B

• Produttore: Asahi Engineering

Canon Machinery CAP-3000Ⅱ

• Produttore: Canon