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Building Filters

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Usata Coat/Develop Tracks in Giappone

Visione d'insieme

I coat/develop track sono sistemi wet-process automatizzati per la fotolitografia che applicano fotoresist, effettuano bake e sviluppano i wafer esposti. Uniscono spin coater, piastre di cottura, moduli developer, gestione solventi e automazione cassette in una linea per spessori uniformi e alto throughput. Le unità usate variano per dimensioni cassette, livello di automazione e compatibilità chimica: verificare formato wafer, tipi di resist e integrazione con l’impianto prima dell’acquisto.

FAQ

Cosa controllare quando si acquista un track usato?

Verificare capacità cassette, supporto formato wafer, storico dei prodotti chimici, log di manutenzione, stato di pompe e spinner, e presenza di ricambi e manuali.

Come vanno spediti sistemi che hanno usato fotoresist?

Eseguire decontaminazione certificata, svuotare e purgare le linee chimiche, fissare i componenti per il trasporto e predisporre documentazione sulla pulizia.

Quali utenze servono per l'installazione?

Sono richiesti DI water, scarichi solventi, azoto/aria secca, adeguata alimentazione elettrica, estrazione/ventilazione e talvolta acqua refrigerata o linee vacuum.

Qual è la manutenzione preventiva consigliata?

Sostituzione filtri e pompe, controllo tenute e tubazioni, verifica cuscinetti degli spinner, taratura delle piastre di cottura e pulizia delle linee chimiche in base al carico di lavoro.

I ricambi e i consumabili sono facilmente reperibili?

I pezzi OEM e i consumabili critici possono avere tempi di consegna lunghi; confermare disponibilità di guarnizioni, parti pompe, spin chucks e controller prima dell'acquisto.