2021 HORIBA STEC, SEC-4400M, Controllore di flusso di massa (MFC)
- Produttore: Horiba
- Modello: SEC-4400M
Numero di serie.: 2358200 | Quantità: 1 | Dettaglio dell'attrezzatura: Controllore di flusso di massa (MFC) | Attrezzatura: Controllore di flusso di massa (MFC) | Descrizione: Gas: SiH4, Gamma: 100SCCM
Suwon, Corea del SudHORIBA STEC, SEC-4400M, Regolatore di portata massica (MFC)
- Produttore: Horiba
- Modello: SEC-4400M
Numero di serie.: 1321101770 | Quantità: 1 | Dettaglio dell'attrezzatura: Controllore di flusso di massa (MFC) | Attrezzatura: Controllore di flusso di massa (MFC) | Descrizione: Gas: HE, Gamma: 100SCCM
Suwon, Corea del SudHORIBA STEC, SEC-4400M, Regolatore di portata massica (MFC)
- Produttore: Horiba
- Modello: SEC-4400M
Numero di serie.: 281104762 | Quantità: 1 | Dettaglio dell'attrezzatura: Controllore di flusso di massa (MFC) | Attrezzatura: Controllore di flusso di massa (MFC) | Descrizione: Gas: O2, Gamma: 2SLM
Suwon, Corea del Sud