Usata in Gyeonggi, Corea del Sud

2005 AXCELIS ES3

• Produttore: Axcelis
• Modello: ES3

Dimensione del wafer: 12"

KLA-TENCOR P 12

• Produttore: KLA-Tencor
• Modello: P-12

EBARA AA70WN

• Produttore: Ebara
• Modello: AA70WN

EBARA AA40WN

• Produttore: Ebara
• Modello: AA40WN

2000 AMAT P 5000

• Produttore: Amat
• Modello: P5000

Dimensione del wafer: 8 pollici

1995 AMAT P 5000

• Produttore: Amat
• Modello: P5000

Dimensione del wafer: 8 pollici

2000 AMAT P 5000

• Produttore: Amat
• Modello: P5000

Dimensione del wafer: 8 pollici

EDWARDS IH600 NEW LK NGW730000XS(TEST OK)

• Produttore: Edwards
• Modello: IH600

2000 Nikon S204B

• Produttore: Nikon
• Modello: S204

Dimensione del wafer: 8

ADIXEN RSV1802

• Produttore: ADIXEN

LEYBOLD LEYBOLD VACUUM WSU2001H

• Produttore: Oerlikon - Leybold
• Modello: WSU2001

EDWARDS STP-A2203SL

• Produttore: Edwards
• Modello: STP

EDWARDS STP-A1603 ISO200F

• Produttore: Edwards
• Modello: STP

KLA P20H

• Produttore: KLA-Tencor
• Modello: P20H

Dimensione del wafer: 3

2010 AXCELIS INTEGRA

• Produttore: Axcelis
• Modello: Integra

Dimensione del wafer: 12"