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Unità 2016, UFC-1660, Controllori di flusso di massa (MFC)
- Produttore: United Forms Corp
- Modello: UFC-1660
Numero di serie.: A3223001308 | Quantità: 1 | Dettaglio dell'attrezzatura: Controllori di flusso di massa (MFC) | Attrezzatura: Controllori di flusso di massa (MFC) | Descrizione: Gas: SiH4, Gamma: 30SCCM
Suwon, Corea del SudHORIBA STEC, SEC-4400M, Regolatore di portata massica (MFC)
- Produttore: Horiba
- Modello: SEC-4400M
Numero di serie.: 281104762 | Quantità: 1 | Dettaglio dell'attrezzatura: Controllore di flusso di massa (MFC) | Attrezzatura: Controllore di flusso di massa (MFC) | Descrizione: Gas: O2, Gamma: 2SLM
Suwon, Corea del Sud2021 HORIBA STEC, SEC-4400M, Controllore di flusso di massa (MFC)
- Produttore: Horiba
- Modello: SEC-4400M
Numero di serie.: 2358200 | Quantità: 1 | Dettaglio dell'attrezzatura: Controllore di flusso di massa (MFC) | Attrezzatura: Controllore di flusso di massa (MFC) | Descrizione: Gas: SiH4, Gamma: 100SCCM
Suwon, Corea del Sud