Visione d'insieme
L'ispezione dei difetti nella metrologia dei semiconduttori include sistemi e processi per rilevare, classificare e quantificare difetti su wafer, maschere e dispositivi incapsulati. Strumenti ottici, a fascio elettronico o basati su scattering misurano dimensione, densità e posizione dei difetti per migliorare il yield e l'analisi delle cause. Le apparecchiature devono rispettare requisiti di cleanroom, vibrazioni ed ESD e spesso integrano software di imaging e analisi dati.
FAQ
Cosa controllare quando si compra un sistema di ispezione difetti usato?
Verificate lo stato dei rivelatori e delle ottiche, specifiche di risoluzione e sensibilità, compatibilità con le dimensioni dei wafer, versioni software/firmware, storia di manutenzione e calibrazione, e disponibilità di pezzi di ricambio e assistenza.
Come va spedito un sistema di ispezione per proteggerlo?
Usate trasporto climatizzato e smorzamento delle vibrazioni con casse su misura, protezione ESD e monitor di urto. Coordinate lo smontaggio e il rimontaggio con il fornitore o tecnici certificati e assicurate la spedizione.
Quali sono le routine di manutenzione e calibrazione richieste?
Eseguite controlli quotidiani di ottiche e pulizia, monitorate pompe e vuoto se presenti e fate backup regolari del software. Programmate calibrazioni annuali da OEM o laboratorio qualificato e sostituite i consumabili secondo il produttore.
