Le wet station (wet bench) sono banchi modulari per trattamenti chimici, pulizia, incisione e risciacquo di parti e wafer. Comprendono vasche, pompe, filtri, riscaldatori e aspirazione per gestire liquidi e sostanze pericolose in sicurezza. Utilizzate in elettronica, galvanica e semiconduttori, differiscono per materiali, capacità e livello di automazione; la scelta dipende dal processo, dalla compatibilità chimica e dalle utenze disponibili.
Verificare la compatibilità chimica dei materiali delle vasche, lo stato di vasche e guarnizioni, il funzionamento di pompe e valvole, filtri, riscaldatori e aspirazione. Richiedere documentazione di manutenzione e storico dell'uso di sostanze pericolose.
Svuotare e neutralizzare le sostanze chimiche, decontaminare le superfici, mettere in sicurezza o rimuovere componenti fragili, tappare gli attacchi e segnalare lo storico chimico. Usare un trasportatore esperto in apparecchiature di laboratorio/industria.
Prevedere alimentazione elettrica adeguata, acqua DI/RO, linee chimiche, scarichi e ventilazione adeguata. Programmare controlli di pompe, filtri e riscaldatori, sostituzione delle guarnizioni, ispezioni anticorrosione e test degli interblocchi di sicurezza.